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黑蜡(Apiezon Wax)应用介绍

Apiezon wax 俗称黑蜡,被广泛用于集成电路的lift-off 工艺中。该蜡是由具有近百年历史的英国M&I公司研制生产,具有ISO-9002质量体系认证。主要应用如下:

 

真空密封

Apiezon蜡常温固态是永久性(或半永久性)接头刚性密封的理想产品。在20°C下选择不同类型的Apiezon蜡,可有效密封从10-9 Torr的真空到压力不高的正压系统。Apiezon蜡防水性能极佳,完全防水渗漏,对水蒸气和空气中的水汽都有着优良的密封效果。由饱和蒸汽压与工作温度特性曲线可知,该蜡饱和蒸汽压极低,对薄膜淀积等许多应用非常重要,Apiezon蜡的挥发不会破坏系统内部的真空,也不会污染淀积的薄膜。

 

抗刻蚀

Apiezon蜡广泛应用于硅晶体管和集成电路的生产制造。其化学性质不活泼,能够抵抗氢氟酸、硝酸和乙酸等刻蚀液的腐蚀,但使用烃类或含氯溶剂可轻松将其去除,同时可一并去除很多仅使用溶剂无法清除的杂质。该蜡常作为印刷电路板的保护性涂层,对铜线电路进行全面保护,免受酸刻蚀工艺的影响和空气对其的氧化,而且可通过Apiezon蜡对铜线电路直接进行焊接。常用于SiGaAsGaSbGaN刻蚀工艺中,也可用于光电集成的lift-off工艺中。

 

固定介质

Apiezon蜡是性能优良的固定介质,可对硅片进行临时性或永久性的粘合。固定时先把蜡熔化,然后平整地涂到表面,或先将Apiezon蜡溶解到碳氢化合物溶剂或含氯溶剂中,然后涂到硅片的表面,溶剂蒸发后就会留下薄薄一层粘合力极强的蜡。为了在硅表面获得厚度均匀的蜡,快速旋转硅片,即可生成一层高质量硅片固定介质。

 

吸杂特性

Apiezon脂一样,Apiezon蜡也有强大的“吸杂”特性。这种吸杂、高纯以及洁净的融化等特性,恰恰满足电子工业中对金属表面高洁净度的要求,故广泛应用于电子工业中。

 

使用方法

用玻璃棍、刮铲或类似的工具将已融化的蜡涂在所需的位置,注意不要超过蜡的软化点温度(60°C)。如需去除,可将蜡加热软化后刮掉,残留物可用有机溶剂或蒸汽脱脂浴等方法去除。

 

去除

可以使用芳香烃(甲苯、二甲苯),氯化烃(如三氯乙烯)或更安全的溶剂,通常推荐D-柠檬烯。Apiezon W不能使用醇类(乙醇、异丙醇)或酮类(丙酮,丁酮)去除。

 

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