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我司在北京某研究所成功安装美国Janis公司生产的高低温真空探针台 2016-11

    我司于2016年11月在北京某研究所成功安装美国Janis公司生产的高低温真空探针台。该探针台变温范围大(8K-675K (LHe),80K-675K(LN2),温度稳定性好(优于10mK)。配三同轴探针臂,漏电流优于50fA。配无油分子泵组,低温下真空度优于5*10-6mbar。与Keithley 4200半导体特性仪匹配使用,用于功能材料、拓扑绝缘体、纳米结构和器件等变温测试,也可以用于半导体器件、MEMS器件、超导器件封装前在真空下做原位测试以及高低温的老化测试。




  

  

                                高低温真空探针台系统