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大尺寸大行程高低温直流微波探针台安装成功

  

  我司于20184月在上海某研究所成功安装美国Janis公司的大尺寸大行程高低温真空直流微波探针台。该探针台配置8英寸卡盘,可升级为10英寸,可以容纳8寸甚至10寸的wafer,配置四个三同轴探针臂(漏电流小于50fA@10V)、两个67GHz的微波探针臂和一个光纤探针臂,该探针台不仅卡盘尺寸大,而且探针行程大(每个探针的覆盖范围均为6英寸*6英寸),并变温范围也大(<10K-400K)Janis作为世界上最大的定制型低温恒温器生产商,该大型低温探针台的成功安装,标志着该公司在低温真空探针台领域处于进一步领先地位。




 


 

2018-04-20