我司于2018年4月在上海某研究所成功安装美国Janis公司的大尺寸大行程高低温真空直流微波探针台。该探针台配置8英寸卡盘，可升级为10英寸，可以容纳8寸甚至10寸的wafer，配置四个三同轴探针臂（漏电流小于50fA@10V）、两个67GHz的微波探针臂和一个光纤探针臂，该探针台不仅卡盘尺寸大，而且探针行程大（每个探针的覆盖范围均为6英寸*6英寸），并且变温范围也大（<10K-400K)。Janis作为世界上最大的定制型低温恒温器生产商，该大型低温探针台的成功安装，标志着该公司在低温真空探针台领域处于进一步领先地位。

2018-04-20