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低温真空探针台

美国Janis公司创建于1961年,在低温设备的设计、研发和制造等方面是国际公认的领导者。凭借雄厚的低温真空技术实力,Janis 提供一系列完整的低温真空探针台测试系统,广泛应用于半导体工业(芯片、晶圆片、封装器件)、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学和材料学等领域。Janis 低温真空探针台主要分为制冷剂(液氦/液氮型)探针台和制冷机型(闭循环)探针台。温度范围从3K到675K,探针臂数最多可达8个,可对样品或器件施加直流、低频和微波信号。可选配光纤探针、磁场(永磁体、电磁体和超导磁体)、超高真空等。

 

典型应用:


      l    低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件

      l    应用领域包括半导体MEMS 、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等

      l    探针可以施加直流、低频信号或微波信号等(可选一到八个探针)

      l    高效率连续流低温恒温系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K 到475K(可选600K)

      l    各类无制冷剂型低温制冷系统(Base temperature:5K,8K,10K等

      l    可施加各类磁场(永磁体、电磁体和超导磁体)


 


Janis低温真空探针台规格、参数一览表:

 

低温真空探针台技术规格和参数

型号

制冷

方式

  温度范围(4个探针臂)(K)

磁场类型

真空类型(mba)

探针臂数量(个)

最大样品尺寸(mm)

振动

大小

ST-500

 液氮

/液氦

~3.5-475   

 (8-675)

10-5-10-6(

10-6-10-9 )

2-6(8)

50

(200)

25nm

ST-500-EM

(电磁体)

 液氮

/液氦

 ~3.5-475 

 (8-675)

0.6T水平

 

4

50

25nm

ST-500-SCON

(超导磁体)

 液氮

/液氦

5-420

3T垂直

10-5-10-6

2-6

50

<1 μm

ST-500-PM

(永磁体)

 液氮

/液氦

 5-350   

 (475)

0.6T水平0.2T垂直

 

4(水平)

50

 

ST-500-UHV

 液氮

/液氦

联系我们

 

10-7-10-8

联系

我们

50

 

ST-500-MC

(可移动式chuck)

 液氮

/液氦

联系我们

 

10-5-10-6(

10-6-10-9 )

联系

我们

50

(200)

 

CCR-4

闭循环

4.5-325

(6.5-675)

 

 

2-6

50

<1 μm

CCR-10

闭循环

9-350

(11-675)

 

 

2-6

50

<1 μm

CCR-80

闭循环

80-350

(选82-675)

 

 

2-6

50

<1 μm

CCR-EM 

(电磁铁)

闭循环

10-350

(12 -675)

0.6 T水平

 

4

50

<1 μm

CCR-SCON

(超导磁体)

闭循环

5-300

 

10-5-10-6

2-6

50

<1 μm

RT-500 (室温)

300-500

(300-650)

 

 

2-6

50

 

  (备注:变温范围跟探针台的具体配置有关)