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红外发射显微镜系统-IREM-II系统

    美解除世界上分辨率最高噪音最小的红外和近红外发射显微镜系统的对华禁售!

       作为世界上分辨率最高噪音最小的红外和近红外发射显微镜系统-美国IRLabs公司IREM-II系统已经不再被列入国际武器贸易条例(ITAR)中,经美国商务部允许,可以向中国出售。

       IRLabs 拥有72项红外发光显微镜专利IREM-SIL 系统是当今世界最灵敏、分辨率最高的红外和近红外发射显微镜系统,成为世界主要半导体制造商作为集成电路的失效性分析的强有力工具。IREM-SIL建立在其前身IREM-II系统的核心技术之上,集世界上最灵敏的InGaAs显微镜同固体浸没透镜为一体,空前满足现今以及今后很长一段时间需求的亚微米深亚微米级水平的分辨率以及成像。仅Intel 公司就采购过30多套IRLabs的红外发光显微镜。

 

主要特性:

 

 

分辨率
1、探测器/相机
l     独有ULN像传感器专利技术
l     最低噪音,最高信噪比
2、镜片
l     光谱范围1.1µm - 1.6µm
l     0.3 x微距镜头, 1x, 10x, 25x, 100x, LIO, 2.8 NA SIL和其他型号
l     高透过率和分辨率(<150nm) 

 

重复性
1、移动系统
l     8轴
l     超低parcentricity error确保精确定位 (<0.5µm ) 
2、AIRIS 软件
l     第三方软件包括CADNav 
l     立足于14年的实践经验,技术成熟度高


可靠性
l     正常工作时间>世界范围的97%
l     数据一致性


 其他部件:

 

镜头滑移台

    四级移动速度从小到大影响分辨率,升级23位置的滑移台可以获得更高的速度,高分辨率和闭环透镜,而且不会影响重复性。

 

l     目前分辨率100nm

l     迅速精准的静态图像平移

l     运动学设计保证更换镜片或者其他部件时精确的偏移值。

l     镜片更换前后图像和结果的一致性

l     高速滑移行程

l     镜头部分便于升级

 

移动控制系统

    开环结构设计使移动质量位于系统重心,有效减少残余振动。高分辨率的编码器可应用于控制相机的微移。另外,气体隔离装置保证了低振动频率,且衰减迅速,确保振动不会传递到被测设备或者相机。

 

l     8轴保证了最高的稳定性和最低的漂移

l     超低的偏移误差保证精确的定位

 

 

 

 

 

 

X-Y-Z平移台

为满足产品监测过程中对图像传感器透射光路或者安装在中心位置的要求,特别设计了X-Y-Z平移台。

 

 

 

电子配件

    为镜头滑移提供电源供应和移动控制以节省时间改善日重复性。

 

l     高速,高重复性控制以改善偏移误差

l     恒流源保证图像日重复性和一致性

l     支撑完全软件控制照明器的选择

 

 

 

 

 

AIRIS 软件

        AIRIS先进的红外辐射成像软件完全支持IREM-SIL系统   

 

l     足于14年的IREM专业技术和客户需求反馈而设计

l     图像处理功能基于天文应用设计研发

l    用于提高空间分辨率和定位的算法同时优化了信噪比以及实时成平场精确

l     软件能够与硬件操作良好集成,优化结果。